半導(dǎo)體等電子工業(yè)監(jiān)測站解決方案

背景概述

半導(dǎo)體/電子工業(yè)是我國重點扶持和發(fā)展的領(lǐng)域，在生態(tài)環(huán)境保護方面，半導(dǎo)體/電子工業(yè)制造廠也在加大投入污染治理和污染物在線監(jiān)控，以降低對生態(tài)環(huán)境和居民的影響。然而，半導(dǎo)體/電子工業(yè)制造廠的廢氣／煙氣排放煙囪很多，有酸性排口，堿性排口（NH3）和VOCs排口，每個Fab廠都有十到幾十個煙囪排口，而且酸性氣體多（HCl、HF、Cl2、H2SO4等）和VOCs種類多（非甲烷總烴、苯、甲苯、二甲苯、甲醛、三氯乙烯等），要對每個煙囪排口進行在線監(jiān)測，就需要綜合考慮國際上先進的監(jiān)測技術(shù)和建設(shè)經(jīng)濟效益，選擇最優(yōu)的解決方案。

行業(yè)類型：半導(dǎo)體等電子工業(yè)

主要監(jiān)測因子：NH3、HCl、HF、Cl2、H2SO4、非甲烷總烴、苯、甲苯、二甲苯、甲醛、三氯乙烯等。

解決方案概述：博測環(huán)境提供的整體解決方案是采用非接觸式差分吸收光譜法（DOAS），使用一條光路貫穿整個管道。光束通過光纖傳輸?shù)椒治鰞x，而這個分析儀又同時監(jiān)測幾個路徑。滿足同時監(jiān)測全部排口，多種因子，包括了酸性氣體、堿性氣體和VOCs氣體。該方案采用了先進的光譜法（UV/IR）監(jiān)測酸堿氣體和氣相色譜法（GC-FID）監(jiān)測VOCs氣體。如下圖：

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